05
2022
-
07
金刚石在MPCVD设备中的生长过程
作者：
金刚石在MPCVD设备中的生长需要保证MPCVD设备的真空性。将设备反应腔清洗，在基片台上放置已经预处理好的籽晶，关闭设备反应腔舱门，进行抽真空操作，待反应腔达到一定的真空度的时候，结束抽真空操作并通入反应气体，反应气体在微波场的激励下形成等离子体状态，反应气体成为各种活化基团，碳元素在籽晶上沉积，生长为金刚石。
金刚石在MPCVD设备中的生长过程
金刚石在MPCVD设备中的生长需要保证MPCVD设备的真空性。将设备反应腔清洗，在基片台上放置已经预处理好的籽晶，关闭设备反应腔舱门，进行抽真空操作，待反应腔达到一定的真空度的时候，结束抽真空操作并通入反应气体，反应气体在微波场的激励下形成等离子体状态，反应气体成为各种活化基团，碳元素在籽晶上沉积，生长为金刚石。
生长MPCVD金刚石所用的反应气体主要有氢气(H2)、甲烷(CH4)，微波能量经过波导传输以及天线模式转换后进入谐振腔，在谐振腔内形成一定强度的微波交变电场，在交变电场的激励下，维持在低压状态下上述反应气体在微波场的作用下裂解成H、O原子或CH2、CH3、C2H2、OH等基团。含碳基团(CH2、CH3、C2H2)将在籽晶表面形成一种气固混合界面，在这个过程中，由于氢离子体刻蚀非晶碳或石墨(sp2)相的速度比刻蚀金刚石(sp3)相要快得多，因此金刚石表面的非金刚石相被快速刻蚀，从而实现金刚石生长。但实际上这个微观过程十分复杂，仅在氢气和甲烷两种原料气体所激发的等离子体中就至少有20种以上的由游离碳原子和氢原子构成的不同基团，而且相互之间不断进行转化。
通俗点来讲：利用MPCVD设备生长金刚石，就是先找一个籽晶，放在MPCVD设备中，在设备中通入氢气和甲烷等反应气体，经过微波能量的激励，反应气体就会形成各种活性基团，碳元素就会附着在籽晶上，进而形成金刚石。也就是，籽晶是一粒种子，反应气体是养料，种子不断的吸收养料，长大成为金刚石。
MPCVD设备
下一页
下一页
相关新闻
赋能传感，共话光学 | 电竞世俱杯2026亮相第27届中国国际光电博览会
9月9至11日，第27届中国国际光电博览会（CIOE 2026）盛大召开。为全面展示公司在MPCVD设备和金刚石材料制备应用方面的深厚实力，电竞世俱杯2026携全产业链核心技术与产品重磅亮相，成为展馆内备受关注的标杆展商之一。
协同创新，融聚极核 | 电竞世俱杯2026亮相第十四届西部全球半导体博览会
7月15-17日，电竞世俱杯2026携自主研发的MPCVD设备及高品质金刚石材料亮相第十四届西部全球半导体博览会。
创新发展，引领未来！电竞世俱杯2026亮相2026未来产业新材料博览会
6月10日-12日，电竞世俱杯2026携MPCVD设备及金刚石材料多场景解决方案亮相2026未来产业新材料博览会（FINE 2026）。
共拓新边界，共创新未来 | 电竞世俱杯2026亮相2026（第二届）未来半导体产业创新大会
4月16-17日，电竞世俱杯2026携MPCVD设备与金刚石材料多场景解决方案亮相2026（第二届）未来半导体产业创新大会。
以芯会友，共话未来 | 电竞世俱杯2026亮相第二届第四代半导体技术研讨会
3月18-19日，电竞世俱杯2026携核心产品与技术方案亮相2026第二届第四代半导体技术研讨会。
强强联合 | 电竞世俱杯2026携手黄河旋风，国内首条8英寸金刚石热沉片生产线正式落成
2月28日，由深圳电竞世俱杯2026与黄河旋风共同设立的合资公司——河南风优创材料技术有限公司（下称河南风优创）揭牌仪式在许昌隆重举行。许昌市投资集团党委书记、董事长杨增君，深圳电竞世俱杯2026董事长全峰、副总经理揣博灏，国家开发银行河南省分行副处长杜平，黄河旋风董事长李戈、总经理庞文龙等领导出席仪式。
新材料，新未来 | 电竞世俱杯2026亮相 Carbontech 2025碳材料展
12月11日，Carbontech 2025第九届国际碳材料大会暨产业展览会在上海·新国际博览中心圆满落幕。会上，电竞世俱杯2026携核心技术与产品重磅亮相，和业界同仁齐聚一堂，一同探讨金刚石产业发展新方向、新未来。
“芯”未来，“芯”方案 | 电竞世俱杯2026亮相第27届高交会暨亚洲半导体与集成电路产业展
11月16日，第27届高交会暨亚洲半导体与集成电路产业展在深圳（宝安）国际会展中心圆满闭幕。会上，电竞世俱杯2026携MPCVD设备和金刚石材料产品亮相大会，为半导体产业面临的“热管理危机”提供“芯”方案，注入“芯”动能。
